SF6氣體純度分析儀(英文：SF6 gas purity analyzer )主要用于測量SF6與空氣、SF6與N2混合氣體的SF6氣體純度（百分含量），檢查SF6設備（電纜，開關）中的SF6氣體純度（百分含量），也能用于存在有幾種背景氣體的應用中（需特別提出要求）。該儀器采用目前世界上先進的帶溫度補償的微型熱導池探測組件，可快速準確地測出SF6純度，正常情況下其壽命可達十年。
應用領域
SF6氣體純度分析儀可直接攜帶到電廠、 變電站等SF6氣體取樣點處，連接導氣管后即可進行測試。儀器采用鋰電池供電，體積小、重量輕、操作簡單、反應迅速、讀數穩定。儀器包括具有溫度補償功能的微型熱導池（TCD）、數字顯示單元、氣體流量控制閥及流量指示器等。自動補償功能的微型熱導池，不僅可使儀器測量準確可靠，而且有效防止了數據漂移現象。SF6氣體純度分析儀是目前國內、外各類便攜式氣體純度儀表中受環境溫度變化影響小的產品。儀器充滿電后能夠連續使用10個小時以上。
SF6氣體純度分析儀是測試電廠、變電站等場所SF6氣體泄露量的便攜儀器。適用于電廠、變電站SF6氣體純度的日常檢測及發電機啟動、停機時氣體置換過程的檢測以及冶金、化纖、石化等行業特殊氣體純度的精密檢測。
